原气要求：O₂≤500PPm, H₂O≤500PPm；

纯气指标：99.9999%（6N），O₂含量≤0.01PPm，露点：≤-80℃，CO+CO₂含量≤0.01PPm，CH化合物≤0.01PPm，固体颗粒物≤0.01µm；

设备特点：催化剂活性高，纯化后的气体纯度高；

双式结构，一组工作另一组再生备用，故能长期连续供气；

采用全自动无人值守设计，操作更简单，性能也更稳定可靠；

采用分级纯化设计，极大的延长了设备的使用寿命；

抗波动能力强，短时间流量、压力、纯度波动，短时间停电都不会影响设备工作；

具有完善的故障报警、记录、查询、智能指导功能，更有利于故障及时处理；

支持MODBUS TCP及RS485标准MODBUS通讯协议，可实现与上位机远程监控的功能；

处理能力：4NM³/h；其余流量可定制。