原气要求：氦气纯度：3N;O₂≤500PPm, H₂O≤500PPm;一般瓶装气均可满足要求；

纯气指标：99.99999%（7N），O₂含量≤0.01PPm，N₂含量≤0.1PPm，露点：≤-90℃，CO+CO₂含量≤0.01PPm，H₂含量≤0.01PPm，CH化合物≤0.01PPm，固体颗粒物≤0.01µm；

设备特点：催化剂活性高，纯化后的气体纯度高；

双式结构，一组工作另一组再生备用，故能长期连续供气；

采用本机纯气吹扫的再生流程，再生不用氢，故不需专用机房，安全性好；

采用全自动无人值守设计，操作更简单，性能也更稳定可靠；

采用分级纯化设计，极大的延长了设备的使用寿命；

抗波动能力强，短时间流量、压力、纯度波动，短时间停电都不会影响设备工作；

具有完善的故障报警、记录、查询、智能指导功能，更有利于故障及时处理；

支持MODBUS TCP及RS485标准MODBUS通讯协议，可实现与上位机远程监控的功能；

处理能力：4NM³/h；其余气量需要定制。