原气要求:氩气纯度:3N;O2≤500PPm, H2O≤500PPm;一般瓶装气、杜瓦瓶、管道气均可满足要求;
纯气指标:99.9999%(6N),O2含量≤0.01PPm,露点:≤-80℃,CO+CO2含量≤0.01PPm,H2含量≤0.01PPm,CH化合物≤0.01PPm,固体颗粒物≤0.01µm;
设备特点:催化剂活性高,纯化后的气体纯度高;
双式结构,一组工作另一组再生备用,故能长期连续供气;
采用本机纯气吹扫的再生流程,再生不用氢,故不需专用机房,安全性好;
采用全自动无人值守设计,操作更简单,性能也更稳定可靠;
抗波动能力强,短时间流量、压力、纯度波动,短时间停电都不会影响设备工作;
具有完善的故障报警、记录、查询、智能指导功能,更有利于故障及时处理;
支持MODBUS TCP及RS485标准MODBUS通讯协议,可实现与上位机远程监控的功能;
处理气量:4NM3/h;其余气量需要定制。